?超精密零件加工在尺寸精度、形狀精度、表面質量等多個方面都有極其嚴格的要求，以下是具體介紹：
尺寸精度
公差范圍極?。撼芰慵某叽绻钔ǔ１豢刂圃谖⒚祝é蘭）甚至納米（nm）級別。例如，在航空航天領域，一些發(fā)動機葉片的關鍵尺寸公差可能要求控制在 ±5μm 以內；在半導體制造中，芯片制造所使用的光刻掩膜版的線條寬度公差可達到 ±10nm 左右。
一致性要求高：對于一批超精密零件，不僅單個零件要滿足高精度要求，而且零件之間的尺寸一致性也必須極高。以手機攝像頭中的微型光學鏡片為例，同一批次鏡片的直徑尺寸偏差要控制在極小范圍內，否則會影響攝像頭的成像質量。
形狀精度
平面度：要求零件的表面平整度極高，例如，精密光學平面鏡的平面度可能要求達到 λ/10 甚至更高（λ 為光的波長，通常取 632.8nm），即平面的起伏偏差在幾十納米以內。
圓度：像航空發(fā)動機的渦輪軸等關鍵零件，其圓度誤差通常要求控制在 0.001mm 以下，以確保在高速旋轉時的穩(wěn)定性和可靠性。
圓柱度：對于一些高精度的液壓油缸、氣動元件等，圓柱度要求嚴格，可能在 0.002mm - 0.005mm 之間，以保證良好的密封性和運動精度。
位置精度
同軸度：在汽車發(fā)動機的曲軸加工中，各軸頸的同軸度誤差一般要求控制在 0.02mm - 0.05mm 之間，否則會影響發(fā)動機的動力輸出和穩(wěn)定性。
垂直度與平行度：在精密模具制造中，模具的上下模板之間的平行度誤差通常要求控制在 0.05mm 以內，以保證模具在合模時的精度，從而生產出高質量的產品。
表面質量
表面粗糙度：超精密零件的表面粗糙度一般要求達到 Ra0.1μm - Ra0.01μm 甚至更低。如硬盤的磁頭滑塊表面，為了減少與磁盤的摩擦和提高讀寫性能，表面粗糙度可能達到 Ra0.005μm 左右。
表面完整性：除了粗糙度外，還要求表面無微觀裂紋、劃痕、毛刺、氧化層等缺陷。例如在光學鏡片的加工中，表面任何微小的劃痕或裂紋都可能導致光線散射，影響光學性能。
材料性能一致性
微觀組織均勻性：零件材料的微觀組織如晶粒大小、相組成等要均勻一致。以高強度合金鋼制造的航空零部件為例，若材料微觀組織不均勻，會導致零件在受力時出現(xiàn)局部應力集中，降低零件的整體性能和使用壽命。
性能穩(wěn)定性：材料的力學性能、物理性能等要穩(wěn)定。在電子元器件制造中，用于制造芯片的半導體材料，其電阻率、載流子遷移率等性能參數(shù)必須在嚴格的范圍內，否則會影響芯片的性能和可靠性。
裝配精度
間隙配合精度：在機械手表的機芯裝配中，齒輪與軸之間的間隙配合精度通常要求控制在 0.01mm - 0.03mm 之間，以保證手表的走時精度。
過盈配合精度：在汽車發(fā)動機的活塞與活塞銷裝配中，過盈量一般控制在 0.03mm - 0.05mm 之間，確?；钊c活塞銷之間既能傳遞動力，又能在不同工況下保持良好的工作狀態(tài)。